伺服液压缸一般由端盖、缸筒、活塞杆、活塞组件、伺服模块、传感组件、底座等主要部分组成；为避免油液向液压缸外泄或由高压腔向低压腔走漏，在缸筒与端盖、活塞与活塞杆、活塞与缸筒、活塞杆与前端盖之间均设置有密封设备，在前端盖外側，还装有防尘设备；为避免活塞快速退回到行程终端时碰击后缸盖，液压缸端部还设置缓冲设备；有时还需设置排气设备。伺服液压缸前后还按需安装衔接件设备集成度高，采用了伺服模块和传感组件，工作在电液伺服系统闭环回路中，可以将液压能转化成机械能的同时对工作机构施行高精度、高呼应操控，因此在大型液压实验系统较常用的伺服执行设备。

进行伺服液压缸设计时，应根据工作压力、运动速度、工作条件，加工工艺、行程、搬运及装拆检修等方面的要求，归纳考虑伺服液压缸的各部分结构。较为常见的是单活塞杆双作用伺服液压缸。其典型组成：

底座，耳轴，法兰型单耳环式活动头，双头拉杆螺母，双头拉杆，后缸盖，活塞环，活，缓冲套，O型圈，止动螺钉，活塞杆，缸筒，前缸盖，导向套，防尘密封，法兰盖，排气设备，操控设备模块（进油--回油接头、电磁阀、伺服阀、流量阀、单向阀、载荷约束阀等），导油管（坐落缸筒外侧、操控设备模块和后端盖之间，由转化接头和锁紧螺母实现衔接），位移线接口（坐落后缸盖侧，仅存于具有位移操控功用的液压缸），泄油口，传感器组件（传感器、螺旋垫、联接杆、垫片、耳片）